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Procedimiento para la obtención de múltiples capas de silicio cristalino a partir de una oblea de silicio

Tipus de propietat
Patent invenció
Número de sol·licitud
P201230921
Data de sol·licitud
2012-06-13
País
Espanya
Entitat titular
Universitat Politècnica de Catalunya
Resum
Procedimiento para la obtención de múltiples capas de silicio cristalino a partir de una oblea de silicio.

Se divulga un método y sistema para la fabricación de multicapas de silicio cristalino a partir de una oblea de silicio por el cual se puede controlar el grosor de las distintas capas para que varíe desde la escala de cientos de nanómetros a la escala de decenas de micrómetros. El método de fabricación comprende etapas de litografía, de ataques electroquímicos, y recristalización de la oblea al mismo tiempo que se controlan los parámetros de reacción.
Grup de recerca
CRnE - Centre de Recerca en Ciència i Enginyeria Multiescala de Barcelona
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants