Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Micropower thermoelectric generator from thin Si membranes

Autor
Pérez, A.; Lopeandía, A. F.; Abad, L.; Ferrando, P.; Lopez, A.; García, G.; Muñoz, F.; Rodríguez , J.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Nano Energy
Data de publicació
2014-03-23
Volum
4
Pàgina inicial
73
Pàgina final
80
DOI
https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2013.12.007 Obrir en finestra nova
Repositori
http://hdl.handle.net/2117/22963 Obrir en finestra nova
URL
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2211285513001973 Obrir en finestra nova
Resum
We report the development of a Si-based micro thermogenerator build from silicon-on-insulator by using standard CMOS processing. Ultrathin single-crystalline Si membranes, 100 nm in thickness, with embedded n and p-type doped regions electrically connected in series and thermally in parallel, are active elements of the thermoelectric device that generate thermopower under various thermal gradients. This proof-of-concept device produces an output power density of 4.5 µW/cm2, under a temperature ...
Citació
Pérez, A. [et al.]. Micropower thermoelectric generator from thin Si membranes. "Nano Energy", 23 Març 2014, vol. 4, p. 73-80.
Paraules clau
CMOS, Low-dimensional Si, Planar thermoelectric generator, Power output, Si membrane, Thermoelectric, Thermogenerator
Grup de recerca
INSIDE - Innovació en Sistemes per al Disseny i la Formació a l'Enginyeria

Participants

  • Pérez Marín, Antonio Pablo  (autor)
  • Lopeandía Fernández, Aitor  (autor)
  • Abad, Llibertat  (autor)
  • Ferrando Villalba, Pablo  (autor)
  • Lopez Martinez, Antonio Miguel  (autor)
  • García Alonso, Gemma  (autor)
  • Muñoz Pascual, Francesc Xavier  (autor)
  • Rodríguez Viejo, Javier  (autor)

Arxius