Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

CMOS BEOL-embedded z-axis accelerometer

Autor
Michalik, P.; J.M. Sánchez-Chiva; Fernández, D.; Madrenas, J.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Electronics Letters
Data de publicació
2015-05-28
Volum
51
Número
11
DOI
https://doi.org/10.1049/el.2015.0140 Obrir en finestra nova
Projecte finançador
INTEGRACION SENSORIAL NEURONAL Y AUTOADAPTATIVAPARA SISTEMAS EMPOTRADOS DE PERCEPCION DEL ENTORNO
Sistema en chip micro-electro-mecánico (MEMSOC)
Repositori
http://hdl.handle.net/2117/84998 Obrir en finestra nova
Resum
A first reported complementary metal-oxide semiconductor (CMOS)-integrated acceleration sensor obtained through isotropic inter-metal dielectric (IMD) etching of a back-end-of-line (BEOL) integrated circuit interconnection stack, without any additional substrate etching steps, is presented. The mechanical device composed of a CMOS-process 8 mu m-thick metal-via-metal stack of 135 mu m diameter and suspended 2.5 mu m over a bottom fixed electrode, has a resonance frequency of 20 kHz, a sensing ca...
Citació
Michalik, P., J.M. Sánchez-Chiva, Fernandez, D., Madrenas, J. CMOS BEOL-embedded z-axis accelerometer. "Electronics Letters", 28 Maig 2015, vol. 51, núm. 11.
Grup de recerca
CETpD -Centre d'Estudis Tecnològics per a l'Atenció a la Dependència i la Vida Autònoma

Participants