Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

A CMOS BEOL accelerometer low-noise readout amplifier with 4.2 zF/rt-Hz total noise floor

Autor
J.M. Sánchez-Chiva; Michalik, P.; Fernández, D.; Madrenas, J.
Tipus d'activitat
Presentació treball a congrés
Nom de l'edició
14th IEEE Conference on Sensors
Any de l'edició
2015
Data de presentació
2015-11-04
Llibre d'actes
IEEE Sensors 2015 proceedings
DOI
https://doi.org/10.1109/ICSENS.2015.7370635 Obrir en finestra nova
Projecte finançador
Sistema en chip micro-electro-mecánico (MEMSOC)
Repositori
http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=7370635&newsearch=true&queryText=chiva Obrir en finestra nova
Resum
This article describes a low-noise readout amplifier for a post-CMOS BEOL (Back End Of Line) surface micromachining capacitive accelerometer. Simulations show 300.0µG/rt-Hz acceleration and 4.2 zF/rt-Hz capacitance noise floors while chopping at 1MHz and having a power consumption of 1.38mW. The performed noise minimization is described, comprising input transistor pair type election, optimum input pair inversion region and dimensions using an all-region EKV model and equations describing paras...
Paraules clau
Accelerometer, Micro Electro Mechanical Systems (mems), Capacitive Sensing, Low-noise.
Grup de recerca
CETpD - Centre d’Estudis Tecnològics per a l’Atenció a la Dependència i la Vida Autònoma

Participants