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Dielectric charge control in contactless capacitive MEMS

Autor
Gorreta, S.
Tipus d'activitat
Tesi doctoral
Altres unitats relacionades
Departament d'Enginyeria Electrònica
Data de la defensa
2017-09-29
Resum
Los sistemas micro-electromecánicos, conocidos como MEMS, constituyen una alternativa tecnologíca que ha experimentado un gran crecimiento en las últimas décadas. Desde que en 1959, cuando el físico teórico Richard Feynman introdujo el concepto de nanotecnología en su famosa conferencia ¿There is plenty of room at the bottom¿, multitud de investigadores y empresas se han dedicado al desarrollo y la mejora permanente de este tipo de dispositivos. Las principales ventajas del uso de MEMS ...
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants