Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Chlorine plasma system instabilities within an ICP tool driven at a frequency of 13.56 MHz

Autor
Soberon, F.; Marro, F.; Graham, W.G.; Ellingboe, A.R.; Law, V.J.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Plasma sources science and technology
Data de publicació
2006-05
Volum
15
Número
2
DOI
https://doi.org/10.1088/0963-0252/15/2/004 Obrir en finestra nova

Participants

  • Soberon, Felipe  (autor)
  • Marro, F.G.  (autor)
  • Graham, William  (autor)
  • Ellingboe, AR  (autor)
  • Law, VJ  (autor)