Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Design fabrication and test of micromachined-silicon capacitive gas sensors with integrated readout

Autor
Amírola, J.; Rodriguez, A.; Castañer, L.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering
Data de publicació
2003
Volum
5156,92
Pàgina inicial
92
Pàgina final
101
DOI
10.1117/12.49866
URL
http://cataleg.upc.edu/record=b1266231~S1*cat Obrir en finestra nova
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants