Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators

Autor
Fernandez, D.; Madrenas, J.; Cosp, J.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Microelectronics reliability
Data de publicació
2011-03
Volum
51
Número
3
Pàgina inicial
602
Pàgina final
609
DOI
https://doi.org/10.1016/j.microrel.2010.09.027 Obrir en finestra nova
Repositori
http://hdl.handle.net/2117/13195 Obrir en finestra nova
Resum
This paper presents a high-bandwidth capacitance estimation and driving circuit especially tailored for its use with MEMS electrostatic actuators. The circuit can be integrated as a part of a system comprising an electrostatic actuator to provide self-testing and failure prediction capabilities and also as a simple and low-cost actuator dynamics characterization system capable of measuring both periodic and nonperiodic movements.
Citació
Fernandez, D.; Madrenas, J.; Cosp, J. A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators. "Microelectronics reliability", Març 2011, vol. 51, núm. 3, p. 602-609.
Grup de recerca
AHA - Arquitectures Hardware Avançades
CETpD -Centre d'Estudis Tecnològics per a l'Atenció a la Dependència i la Vida Autònoma

Participants