Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Speed-Energy Optimization of Electrostatic Actuators Based on Pull-In

Autor
Castañer, L.; Senturia, S.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Journal of microelectromechanical systems
Data de publicació
1999-09
Volum
8
Número
3
Pàgina inicial
290
Pàgina final
298
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants