Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Characterization of a-SiCx:H films for c-Si surface passivation

Autor
Vetter, M.; Martin, I.; Orpella, A.; Voz, C.; Puigdollers, J.; Alcubilla, R.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Journal of materials research
Data de publicació
2002-01
Volum
715
Pàgina inicial
539
Pàgina final
544
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants