Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens

Autor
Ostadi, H.; Arroyo, M.; Prewet, P.D.; Jiang, K.C.; Huq, S.E.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Microelectronic engineering
Data de publicació
2008-06
Volum
85
Número
5-6
Pàgina inicial
1086
Pàgina final
1088
DOI
https://doi.org/10.1016/j.mee.2008.01.096 Obrir en finestra nova
Repositori
http://hdl.handle.net/2117/8157 Obrir en finestra nova
Resum
A mechanically deformable reflection transmission MOEMS system is capable of focusing X-rays to sub micron spots. This paper considers the geometry of the proposed deformed slotted microcantilever lens element under thermally derived strain, using finite element analysis. The work shows that an optimized MOEMS design using a slotted polyimide/gold thermal bimorph cantilever is capable of achieving ideal geometry with a larger than expected number of focusing slots – up to 111 at 2 μm width.
Citació
Ostadi, H. [et al.]. Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens. "Microelectronic engineering", Juny 2008, vol. 85, núm. 5-6, p. 1086-1088.
Grup de recerca
LACÀN - Mètodes Numèrics en Ciències Aplicades i Enginyeria

Participants

  • Ostadi, Hossein  (autor)
  • Arroyo Balaguer, Marino  (autor)
  • Prewett, P.D.  (autor)
  • Jiang, K.C.  (autor)
  • Huq, S.E.  (autor)

Arxius