Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Study of post-deposition contamination in low-temperature deposited polysilicon films

Autor
Bertomeu, J.; Puigdollers, J.; Peiró, D.; Cifre, J.; Delgado, J.; Andreu Batallé, Jordi
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Materials science and engineering B. Solid state materials for advanced tech
Data de publicació
1996-01
Volum
36
Pàgina inicial
96
Pàgina final
99
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants

  • Bertomeu Balaguero, Joan  (autor)
  • Puigdollers Gonzalez, Joaquin  (autor)
  • Peiró, D  (autor)
  • Cifre, J  (autor)
  • Delgado Nieto, Juan Carlos  (autor)
  • Andreu Batallé, Jordi  (autor)