Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Crystal growth characterization of polycrystalline silicon films obtained by hot-wire chemical vapor deposition

Autor
Polo, M.; Peiró, F.; Cifre, J.; Bertomeu, J.; Puigdollers, J.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Institute of physics conference series
Data de publicació
1995-11
Volum
146
Pàgina inicial
503
Pàgina final
506
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants

  • Polo, M C  (autor)
  • Peiró Martínez, Francesca  (autor)
  • Cifre, J  (autor)
  • Bertomeu Balaguero, Joan  (autor)
  • Puigdollers Gonzalez, Joaquin  (autor)