Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Polycrystalline silicon films obtained by hot-wire chemical vapor deposition

Autor
Cifre, J.; Bertomeu, J.; Puigdollers, J.; Polo, M.; Lloret, A.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Applied physics A. Materials science and processing
Data de publicació
1994-06
Volum
59
Pàgina inicial
645
Pàgina final
651
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
MSR - Mecànica del Sòls i de les Roques

Participants