Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Structure of a-Si:H/a-Si1-xCx:H multilayers deposited in a reactor with automated substrate holder

Autor
Bertomeu, J.; Asensi, J.; Puigdollers, J.; Morenza, J.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Vacuum
Data de publicació
1993-05
Volum
44
Pàgina inicial
129
Pàgina final
134
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants