FUTUR. Portal de la Producció Científica dels Investigadors de la UPC.

Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data

Autor: Gordiets, F.; Inestrosa-Izurieta, M.; Navarro, A.; Bertran, E.

Tipus d'activitat: Article en revista
Revista: Journal of applied physics
Data de publicació: 2011-11-24
Volum: 110
Número: 103302
Pàgina inicial: 1
Pàgina final: 8
DOI: https://doi.org/10.1063/1.3658249

Repositori: http://hdl.handle.net/2117/15643
Citació: Gordiets, F. [et al.]. Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data. "Journal of applied physics", 24 Novembre 2011, vol. 110, núm. 103302, p. 1-8.

Grup de recerca: SPPT - Superfícies, Productes i Processos Tèxtils