Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data

Autor
Gordiets, F.; Inestrosa-Izurieta, M.; Navarro, A.; Bertran, E.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Journal of applied physics
Data de publicació
2011-11-24
Volum
110
Número
103302
Pàgina inicial
1
Pàgina final
8
DOI
https://doi.org/10.1063/1.3658249 Obrir en finestra nova
Repositori
http://hdl.handle.net/2117/15643 Obrir en finestra nova
Citació
Gordiets, F. [et al.]. Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data. "Journal of applied physics", 24 Novembre 2011, vol. 110, núm. 103302, p. 1-8.
Grup de recerca
SPPT - Superfícies, Productes i Processos Tèxtils

Participants

Arxius