Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Multilayer ISFET membranes for microsystems applications

Autor
Cané, C.; Götz, A.; Merlos, A.; Gràcia, I.; Errachid, A.; Losantos, P.; Lora-Tamayo, E.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Sensors and actuators B. Chemical
Data de publicació
1996-09-01
Volum
1-3
Número
136-140
Pàgina inicial
35
Pàgina final
36
DOI
https://doi.org/10.1016/S0925-4005(97)80043-3 Obrir en finestra nova
Repositori
http://hdl.handle.net/2117/21007 Obrir en finestra nova
URL
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0925400597800433 Obrir en finestra nova
Resum
The fabrication of microsystems in which chemical measurements play a role make the on-chip combination of chemical sensors and signal processing circuitry highly desirable. Chemical sensors use sensitive layers which are not a part of MOS devices and in this sense, the determination of the best sensors and technological processes to achieve good integrated smart sensors is very important. In this paper a study of compatibility of ISFET chemical sensors and CMOS circuitry is presented for applic...
Citació
Cané, C. [et al.]. Multilayer ISFET membranes for microsystems applications. "Sensors and actuators B. Chemical", 01 Setembre 1996, vol. 1-3, núm. 136-140, p. 35-36.
Paraules clau
Microsystem application, Multilayer ISFET membranes

Participants

  • Cané Ballart, Carles  (autor)
  • Götz, A.  (autor)
  • Merlos, A.  (autor)
  • Gràcia, I.  (autor)
  • Errachid, Abdelhamid  (autor)
  • Losantos Viñolas, Pedro  (autor)
  • Lora-Tamayo, E.  (autor)