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Perfilómetro óptico de tecnología dual (Confocal e Interferométrica) para la inspección y medición tridimensional de superficies

Type of property
Invention patent
Number of request
P200401071
Date of request
2004-04-23
Country
Espanya
Owner organization
UPC
Abstract
Comprende una fuente de luz (LED), unos divisores de haz (por lo menos uno es polarizante), y medios de generación de patrones de iluminación (microvisualizador LCOS) y objetivos microscópicos intercambiables que son objetivos convencionales con los que se pueden obtener imágenes confocales y objetivos interferométricos con los que se pueden obtener imágenes interferométricas. El microvisua1izador puede generar una secuencia de patrones de iluminación para obtener imágenes confocales o una apertura total de todos los píxeles de iluminación para obtener imágenes interferométricas.

Presenta un diseño compacto que permite la medida rápida y sin contacto de la forma y la textura de todo tipo de superficies a escala micro y nanométrica, incluso en muestras estructuradas o estratificadas que contienen materiales diferentes.
Group of research
CD6 - Centre for Sensors, Instruments and Systems Development
GREO - Optical Engineering Research Group

Participants

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