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Dielectric charge control in contactless capacitive MEMS

Author
Gorreta, S.
Type of activity
Theses
Other related units
Department of Electronic Engineering
Defense's date
2017-09-29
URL
http://hdl.handle.net/2117/113284 Open in new window
Abstract
Los sistemas micro-electromecánicos, conocidos como MEMS, constituyen una alternativa tecnologíca que ha experimentado un gran crecimiento en las últimas décadas. Desde que en 1959, cuando el físico teórico Richard Feynman introdujo el concepto de nanotecnología en su famosa conferencia "There is plenty of room at the bottom", multitud de investigadores y empresas se han dedicado al desarrollo y la mejora permanente de este tipo de dispositivos. Las principales ventajas del uso de MEMS fr...
Group of research
MNT - Micro and Nanotechnologies Research Group
Citation
Gorreta Mariné, S. "Dielectric charge control in contactless capacitive MEMS". Tesi doctoral, UPC, Departament d'Enginyeria Electrònica, 2017.

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