Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Comparison of air gap breakdown and substrate injection as mechanisms to induce dielectric charging in microelectromechanical switches

Autor
Molinero, D.; Castañer, L.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Applied physics letters
Data de publicació
2008-01
Volum
92
Número
4
Pàgina inicial
1
Pàgina final
1
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants