Carregant...
Carregant...

Vés al contingut (premeu Retorn)

Structural characterization of a-SiC:H by Thermal Desorption Spectroscopy

Autor
Maass, F.; Bertomeu, J.; Asensi, J.M.; Puigdollers, J.; Andreu Batallé, Jordi; Delgado, J.; Esteve, J.
Tipus d'activitat
Article en revista
Revista
Applied surface science
Data de publicació
1993-01
Volum
70/71
Pàgina inicial
768
Pàgina final
771
Grup de recerca
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Participants

  • Maass Artigas, Fernando  (autor)
  • Bertomeu Balaguero, Joan  (autor)
  • Asensi, J.M.  (autor)
  • Puigdollers Gonzalez, Joaquin  (autor)
  • Andreu Batallé, Jordi  (autor)
  • Delgado Nieto, Juan Carlos  (autor)
  • Esteve Pujol, Joan  (autor)